Exploration of a Peald Platinum Thermal Accelerometer.
- 주제(키워드) Mechanical engineering , PEALD , Thermal accelerometer , Microelectromechanical systems
- 발행기관 Stanford University
- 발행년도 2019
- 학위명 박사
- ISBN 9798698507130
- UCI I804:11009-000000247282
- 제출원본 PQDT28113438
