마이크로미터 크기의 유기 전계 효과 트랜지스터 제작 : Fabrication of Micron-sized Organic Field Effect Transistors
Fabrication of Micron-sized Organic Field Effect Transistors
- 주제(키워드) Pentacene , OFET , Lithography , Atomic layer deposition technique , Al_2O_3 passivation layer , 펜타신 , 유기전계효과트랜지스터 , 리소그래피 , 원자층 증착 방법 , 산화 알루미늄막
- 발행기관 한국진공학회
- 발행년도 2011
- 총서유형 Journal
- UCI G704-001215.2011.20.1.009
- KCI ID ART001522038
- 본문언어 한국어
초록/요약
본 연구에서는 기존 실리콘 반도체 기술 기반의 포토 및 이빔 리소그래피 공정을 통하여 유기 반도체 소자를 패터닝하였다. P3HT나 PEDOT 등의 유기 반도체는 용매에 녹기 때문에 MIMIC (micro-molding in capillaries)이나 inkjet printing 기술을 이용하여 마이크로미터 크기의 소자 제작이 가능하였으나, 펜타신은 용매에 녹지 않기 때문에 매우 복잡한 방법으로 마이크로미터 크기의 소자를 제작하여왔다. 그러나, 본 연구에서는 원자층 증착 방법으로 증착한 산화 알루미늄막을 펜타신의 보호층으로 이용하여 기존의 포토 및 이빔 리소그래피 방법으로 마이크로미터크기의 펜타신 소자를 제작하였으며 그 전기 특성을 확인하였다.
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