원자 힘 현미경 리소그래피를 이용한 나노 구조물의 제작 : Fabrication of Nanostructeres Using Atomic Force Microsopy Lithography
Fabrication of Nanostructeres Using Atomic Force Microsopy Lithography
- 발행기관 한국공업화학회
- 발행년도 2003
- 총서유형 Journal
- UCI G704-000325.2003.14.7.017
- KCI ID ART000901694
