초점 조절용 전자력 렌즈 구동기의 설계 및 제작에 관한 연구 : Design & Fabrication of an Electromagnetic Micro Lens Focusing Actuator
- 발행기관 고려대학교 대학원
- 발행년도 2004
- 학위명 박사
- 학과 대학원:전기공학과
- 식별자(기타) DL:000014914189
- 서지제어번호 000045212946
초록/요약
This paper presents a design and fabrication of an electromagnetic micro lens focusing actuator with large displacement. The micro lens focusing actuator consists of suspension spring structures, lens holder structures, which are fabricated by silicon bulk micromachining, and an electroplated copper coil. An Nd-Fe-B permanent magnet and an objective lens are assembled to the micro lens focusing actuator after the micromachining process. The dimension of the proposed actuator is optimized using electromagnetic and mechanical finite element analysis. The electromagnetic force is about 4mN when the applied current is 100mA. The size of the micro lens focusing actuator is 4mm(W) x 4mm(L) x 0.8mm(T) and the size of a ring type Nd-Fe-B permanent magnet is 3mm(OD) x 1.3mm(ID) x 0.7mm(T), and out-of-plane displacement is ±20 μm when the applied current is 100mA. It is possible to application the micro lens focusing actuator is small-form-factor optical data storage and optical zoom, auto focus controller. key words : micromachining, Lorentz force, electromagnetic actuator, Nd-Fe-B permanent magnet.
more목차
Abstract ⅰ
목차 ⅲ
그림목차 ⅴ
표 목차 ⅵ
1. 서 론 1
2. 미세가공기술을 이용한 구동방식 6
2.1 개요 6
2.2 정전력 구동방식 8
2.3 전자력 구동방식 10
2.4 압전기 구동방식 12
2.5 열 구동방식 13
2.6 그 밖의 구동방식 및 구동기의 장단점 비교 14
2.7 논문의 목적 15
3. 초점 조절용 초소형 전자력 렌즈 구동기의 제작 18
3.1 서론 18
3.2 전자력 렌즈 구동기의 동작 원리 19
3.3 전자력 렌즈 구동기의 설계 21
3.4 전자력 렌즈 구동기의 특성 해석 23
3.5 전자력 렌즈 구동기의 제작 공정 27
3.6 초점 조절용 초소형 전자력 렌즈 구동기의 제작 결과 36
3.7 측정 및 결과 42
4. 결론 45
참고 문헌 47
감사의 글 49
